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PRODUITS > FRONT-END > Dépot PVD

Equipements de dépôt par évaporation




Equipements standards ou fabriqués à la demande

selon cahier des charges.

Toute taille de chambre.

Evaporation thermique ou par canon à électrons (e-beam).

Tout type de dépôt métallique.

Epaisseur de dépôt jusqu'à plusieurs dizaines de microns.



Options :

Porte substrat chauffant,

Choix de sources ioniques pour dépôt assisté ou gravure,

Nettoyage du substrat par plasma DC ou RF,

Sas de chargement, ...



Télécharger la fiche produit en cliquant sur le lien ci-dessous :
+33(0)4 90 40 60 90
+33(0)4 90 40 61 05 (FAX)



ZA la Garrigue du Rameyron
84830 Serignan-Du-Comtat
FRANCE
Lun-Ven : 08h30-17h00
microtest@microtest-semi.com

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