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PRODUITS > FRONT-END


Wet Process



Applications :
 - Nettoyage lift off, post CMP et de masque.
 - Gravure humide.

Pour substrat jusqu'à 21" x 21",
Bras de dispense programmable,
Buses de dispense : spray, puddle ou haute pression,...
Lignes de fluides chauffés jusqu'à 85°C,
Débits des lignes programables,
Rinçage chambre par l'eau DI,
Structure PC pour la programmation, ...

Options :
Chuck faible contact, ...



Télécharger la fiche produit en cliquant sur le lien ci-dessous :
+33(0)4 90 40 60 90
+33(0)4 90 40 61 05 (FAX)



ZA la Garrigue du Rameyron
84830 Serignan-Du-Comtat
FRANCE
Lun-Ven : 08h30-17h00
microtest@microtest-semi.com

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